集成电路学院氧化物半导体科研实验平台（N4SP1）在学院“共享平台执行委员会”的指导下，采取统筹配置、集约管理、有偿使用的方法，构建符合山东大学多校区、多学科的综合大学仪器设备共享体系。平台仪器运用信息化手段，实现网络预约和记账管理。用户可以通过培训授权自主使用或选择送样代做等方式来获得服务。平台坚持学校“以科研服务为宗旨、资源共享为主线、技术引领为核心、提升技术能力为重点”的原则，实现大型仪器设备的专业化管理，推动高精尖仪器设备在科学研究和人才培养中发挥更大作用，为学校“双一流”建设提供条件支撑。
该平台是以始于2012年的纳电子中心实验室为核心建立的院级共享平台，拥有各种先进的微纳加工及测试表征设备。纳电子中心是山东大学校级平台，也是山东省高性能微纳器件与芯片集成工程技术研究中心的核心。共享平台位于山东大学软件园校区，拥有500余平米的千级超净实验室和200平米的普通环境实验室。平台还拥有完备的半导体薄膜、介质薄膜、金属薄膜生长仪器，以及多种物理环境器件的光、电、形貌等性能测试仪器，总价值约为4000余万元，可以组成较完备的4英寸器件与电路中试线，用于制备微纳米尺度的器件和结构，如微电子器件、微机电系统、纳米薄膜材料等。现有的设备包括微纳加工图形化设备、薄膜外延设备、热处理设备、封装设备、形貌测试表征、电性测试表征、光谱测试表征等技术类型。
平台设备具体包括：
电子束曝光系统、紫外曝光系统、激光直写曝光系统、干法刻蚀系统、半自动打线机、快速热退火、管式退火炉、磁控溅射镀膜、电子束蒸发镀膜、热蒸发镀膜、脉冲激光沉积、原子层沉积、等离子体增强化学气相沉积、有机化学气相沉积、显微拉曼光谱仪、紫外可见光分光光度计、场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜、台阶仪、低温恒温器、高频测试系统、直流测试系统、高功率测试系统等。
其中，电子束曝光系统具有国际先进的最低8纳米精度，国内领先水平的750 GHz太赫兹探针测试系统。此外，平台还有一支经验丰富的专职技术团队，包括2名高级实验师和4名实验师，他们能够提供微纳加工方案协助、工艺制备、器件及物性测试服务，并提供实操仪器培训。
该平台为科研机构、高校和企业提供了一个共享先进设备和专业技术支持的平台，促进了微纳加工技术的研究和应用，推动了微纳米科技的发展。
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