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氧化物半导体科研实验平台

公共科研平台

来源：发布时间：2023年09月11日点击数：

集成电路工艺与测试公共平台是一个针对集成电路领域的共享资源和合作交流平台，涵盖薄膜材料制备、微纳加工、器件性能测试等各类大型设备40余套，设备总值5000余万元，超净间面积700多平米，旨在促进探索新材料、发现新原理、开发新器件，为高校、科研机构和企业的科学研究以及产品研发提供硬件支撑和保障。

1.百级黄光区

2.千级设备区

3.公共平台大型仪器设备介绍

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