集成微纳电子研究所拥有加工精度世界一流的7nm加工平台、柔性薄膜器件与集成的整套设备和国内领先的 2 THz太赫兹微波分析测试平台，搭建了完备的导体、半导体及绝缘体材料生长系统、材料与器件分析测试平台，研究能力已经全面接轨国际领先水平。

研究所拥有一支国际高水平研究队伍，具有包括国家特聘教授、泰山青年学者、山东省海外优青以及齐鲁青年学者在内的教授7名、副教授1名。研究所承担了多项国家重大科研项目，包括5项国家重点研发计划课题，1项国家973课题，数十项国家级、省部级和横向项目，科研经费超过5000万元，共发表SCI论文100余篇（包括2篇Nature Communications、3篇Nano Letters、1篇ACS Nano等）。

代表性成果包括世界上速度最快的柔性半导体器件、1GHz薄膜晶体管、灵敏度最高的微波探测器、集成度最高的氧化物薄膜CMOS集成电路等，目前已经在国内外集成微纳电子领域形成了特色和较强的影响力。

研究所主要研究基于新型半导体材料的高性能微纳电子、光电子、柔性、传感等器件与相关芯片集成，具体包括：

●薄膜半导体器件及微纳集成电路

●低维柔性电子器件与功能芯片