科研平台

微电子学院具有多个国家级和省级科研平台,可承担微纳电子核心器件、大规模集成电路与可编程芯片上系统的科学研究工作,具有薄膜生长、纳米器件工艺加工和集成电路芯片设计等前沿科学研究的完备实验平台。


国家电子元器件清洗技术研究推广中心

山东省新一代半导体技术与系统重点实验室

山东省高性能微纳器件与芯片集成工程技术研究中心

山东省集成电路前沿科学与工程高校实验室