1． 仪器名称：直流测试系统

源表型号和规格：Agilent B2900, Agilent E4980A

探针台：Signatone S-1160

2． 仪器主要用途

直流探针台测试系统主要包括四部分：探针台、探针座、光学系统和测量设备。探针直径：实验室常用的探针直径是10微米和20微米。测量设备主要有Agilent B2900和Agilent E4980A。Agilent B2900 是一系列精确的源/测量单元，简称 SMU。B2900 提供LCD、前面板键和旋钮来施加电压/电流或测量电压/电流/电阻。Agilent E4980A是用于元器件接收检验、质量控制和实验室使用的通用LCR表。E4980A可用于在宽频率范围（20 Hz∼20 MHz）和很宽的测试信号电平（0.1 mVrms ∼2 Vrms，50 μA∼20 mArms）对LCR元件、材料和半导体器器件作出评估。

3． 主要技术指标

pA级直流电学性能测量

4． 样品要求（如有）

电极面积100μm*100μm

5． 安放地点：软件园校区教研楼超净间

6． 联系人：王一鸣，邮箱：nano@sdu.edu.cn