1． 仪器名称：高频测试系统

源表型号和规格：Keysight PNA-X, Keysight PXA N9030A

探针台：展芯科技RH6高频探针台

2． 仪器主要用途

Keysight PNA-X 网络分析仪是全球功能最全、最灵活的单次连接微波测试引擎，可测量放大器、混频器和频率转换器等有源器件。PNA-X 具有内置的第二个信号源、合路器和内部信号路由开关，能够提供无与伦比的可配置性。应用软件包括：S 参数（连续波和脉冲）、噪声系数、增益压缩、互调和谐波失真、转换增益/损耗、真正差分激励、毫米波、天线测试。

Keysight PXA N9030A 信号分析仪是 X 系列信号分析仪中性能最高的产品，提供了高达 50 GHz 的频率范围，并提供测量功能选件和硬件扩展选件（包括最近推出的实时频谱分析仪选件）以确保在当前和未来均可进行灵活的测量，通过外混频可测量高达 1.1 GHz的信号。

展芯科技RH6高频探针台是深圳市展芯科技有限公司针对安捷伦微波测试仪表及扩频模块设计的一款高精度、多自由度精密的探针台。和样品台配套的还有光学减震台、高精度探针座、高频GSG探针和标准校准片，可以满足两端口0 - 220GHz GSG探针微波测试的需求。

3． 主要技术指标

网络分析仪:

10 MHz 至 220 GHz

2 端口，具有两个内置信号源

可提供 2 端口 67 GHz 单次扫描解决方案

110 dB 系统动态范围，32001 个点，32 个通道，5 MHz 中频带宽

高输出功率（67 GHz时功率为+10 dBm）和宽功率扫描范围

67 GHz、+11 dBm 时，接收机压缩精度为 0.1 dB

信号分析仪:

3 Hz 至50 GHz；通过是德科技智能混频器将频率扩展到 110 GHz，使用OML的混频器扩展到0.75 THz

10 MHz（标配）、25、40、85 或 160 MHz 分析带宽

标配快速扫描功能，快速功率测量功能

可升级实时频谱分析仪能力，对持续时间最短 3.57 μs 的信号具有 100% 的截获概率。

±0.19 dB 绝对幅度精度

+22 dBm 三阶截获（TOI）

利用前置放大器和本底噪声扩展（NFE）可达到-172 dBm 显示的平均噪声电平（DANL）

-83 dB（-88 dB 标称值）W-CDMA ACLR 动态范围（噪声校正功能启动）

探针台：

最大样品尺寸                   6英寸

Z轴行程                       46 mm

Z轴控制精度                    1 μm

GSG探针间距                   150 μm

样品旋转角度                   360度

4． 样品要求（如有）

视具体情况

5． 安放地点：山东大学软件园校区微电子学院教研楼3B座 105

6． 联系人：王一鸣，邮箱：nano@sdu.edu.cn