1． 仪器名称：fA级半导体参数测试系统

源表型号和规格：Keysight B1500A

探针台：Cascade EPS150TRIAX，

2． 仪器主要用途

B1500A 半导体器件分析仪属于是德科技精密电流－电压分析仪系列，是一款能够提供 IV、CV、脉冲/动态 IV 等丰富功能的综合分析仪，旨在全面满足从基础到尖端应用的表征需求。

3. 主要技术指标

I-V源测量单元（SMU I）：

电压范围：±100 V, 电压测量分辨率：0.5 µV

电流范围：±100 mA, 电流测量分辨率：10 fA

I-V源测量单元(SMU II)：

电压范围：±100 V, 电压测量分辨率：0.5 µV

电流范围：±100 mA, 电流测量分辨率：1fA

C-V 多频率电容单元（CMU）

    AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

频率范围：1 KHz~5 MHz, 频率分辨率：1mHz

交流信号电压范围：10mVrms~250mVrms

偏置电压范围：£±25 V

脉冲发生器单元

输出电压：£40 V

生成任意波形，分辨率 10 ns

最小脉宽 10 ns

IV/C-V 切换单元

实现 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换，无需换线

3． 样品要求（如有）

样品最大6英寸，电极尺寸最小100 μm*100 μm

4． 安放地点：软件园校区教研楼超净间

5． 联系人：王一鸣，邮箱：nano@sdu.edu.cn