2023年10月,原微电子学院、智能创新研究院、新一代半导体材料研究院、济南晶谷研究院,成为全校首个融合发展改革试点;获批国家集成电路科学与工程博士后流动站;山大-算能RISC-V研究院正式成立
2022年,创设智能创新研究院(校内科研特区);微电子学院获批集成电路科学与工程一级学科博士点;获批山东省现代产业学院;获批山东省新一代半导体技术与系统重点实验室
2016年,成立独立建制微电子学院(国家示范性微电子学院)
2013年,山东大学微纳加工工艺线贯通,加工精度7.8纳米
2005年,开设集成电路设计与集成系统专业(国家一流专业建设点)
1997年,全国首批开设微电子科学与工程本科专业(省级一流专业建设点)
1987年,同步通信卫星用5公分微波隧道二极管获得山东省科技进步奖一等奖
1984年,全自制超高速隧道二极管成功应用于国家第一颗通讯卫星
1981年,20纳秒超高速开关隧道二极管获山东省科技成果一等奖
1979年,全自制超高速隧道二极管,该技术指标达当时国际最高水平,可靠性指标优于国际水平,填补我国电子科技领域空白