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集成电路学院召开MOCVD设备二次配建设协调会

来源: 发布时间:2024年12月06日 点击数:

为保证氧化物金属有机化学气相沉积设备的顺利安装,12月2日,集成电路学院邀请资实部安全科田庚,兴软办王欣、林建、王珂,拟委托施工方上海茂竺电子科技有限公司马兆涛等召开设备二次配建设协调会暨安全论证会,集成电路学院副院长王以林、高级实验师栾彩娜参加会议。

会议以“保障气站安全建设”为主题,参会人员在会议室听取了用户和施工方对施工方案的讲解,对气站区域的规划、气路连接的可靠性、气体排放的安全性等问题展开讨论,建议在软件园校区教研楼3B西侧建设气站。随后参会人员一起查看现场情况,确定了气站建设的具体区域,根据气站的情况,应避开配电室、空调外机等设施,明确了气站建设的具体内容,充分确保了气站的安全性。

作者:栾彩娜 王以林