微电子学院具有先进的半导体材料生长、器件微纳加工和材料器件性能测试分析平台，并分别拥有百级和千级超净室，且仪器平台对相关领域校内外科研人员开放，具体仪器功能、仪器参数等请参照学院首页的“仪器平台”中信息。研究室主要设备包括：

（1） 高端微细加工设备

电子束曝光系统（线宽7 nm）、ICP-RIE干法刻蚀、激光直写（最小分辨率0.6 um）、紫外光刻机（最小分辨率0.8um）、超声波金丝球焊线机等。

（2） 材料生长设备

高真空MOCVD镀膜设备、激光脉冲沉积PLD设备、磁控溅射设备、原子层沉积（ALD）系统、电子束蒸发仪，热阻蒸发镀膜仪等。

（3） 测试表征设备

高频器件特性测试系统（太赫兹测试系统，安捷伦公司）、低温强磁场测试系统（10K-500K，2.5T）、超低温冷却系统（4-300K）半导体参数分析仪（安捷伦公司，配有Keysight B1500，2902， 2901，E4980，可施加10ns脉冲信号）、高分辨扫描电镜、宽带隙材料光学测试系统、显微拉曼荧光光谱、紫外分光光度计、太阳能稳态、量子效率测试仪等。