下一代电子器件关于轻便、低成本等方面的需求刺激了柔性电子器件的快速发展，并取得了巨大的成功。当前，如何制备具有超高性能的柔性电子器件成为研究重点。超薄柔性硅锗纳米薄膜由于具有优异的光电性能、良好的机械柔性、稳定的物理性质、以及于CMOS工艺天然的兼容性，而引起研究人员的广泛关注，成为实现超高性能柔性电子器件的重要材料。研究室从制备超薄柔性硅锗纳米薄膜出发，先后研究了其光电性能、新型三维微纳结构塑造、应变工程等，最终研制出可面向生物医疗电子应用的柔性电子器件。所取得的系列研究成果主要以论文形式发表在Materials Science & Engineering R-Reports、Small、ACS Applied Materials & Interfaces、Applied Physics Letters、IEEE Transactions on Electron Devices等主流期刊上。