研究领域

柔性氧化物半导体薄膜电子电路

发布日期:2019-06-18 作者: 点击:


柔性电子电路具有可弯曲折叠以及工艺(如印刷等)成本特性,被认为是可穿戴电子物联网等真正普及所需要的最核心技术。2000年,美国《科学》杂志将该技术列为世界十大科技成果之一,与人类基因草图、生物克隆技术等重大发现并列。氧化物半导体与传统非晶硅及有机半导体相比,具有高迁移率、对可见光透明、可室温大面积成膜等优点,被认为是柔性电子的最佳半导体材料之一。研究室基于氧化物半导体InGaZnO在塑料PET衬底上研制出了当前世界上速度最快的6.3 GHz柔性二极管与1.2 GHz薄膜晶体管,并至今保持世界纪录,解决了柔性无线通讯的关键难题;此外,基于nInGaZnOpSnO实现了氧化物半导体的互补集成,研制成了pW-nW级超低功耗CMOS 反相器、多种逻辑门电路、环形振荡器、D-LatchJ-K Flip-FlopD Flip-FlopSRAM1bit全加器等薄膜功能电路,集成度达到了当前同类芯片国际最高水平(100多个晶体管),为构建更复杂柔性芯片提供了强有力的技术支撑。以上结果发表在Nature CommunicationsIEEE Electron Device LettersApplied Physics LettersIEEE Transactions on Electron Devices 等,并被《China Daily》与《New Electronics》热点报导。

 

 

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