答辩人：王迪
所属专业：微电子学与固体电子学
研究方向：宽禁带半导体材料与器件
论文题目：本征及钽掺杂beta-氧化镓外延薄膜的制备与性质研究
答辩人导师：马瑾 教授
答辩时间：2022年5月29日8:00
答辩地点：山东大学软件园校区教研楼227会议室
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