1． 仪器名称：扫描电子显微镜（SEM）

型号和规格： Nova NanoSEM 450

生产厂商：FEI

2． 仪器主要用途

SEM主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，利用电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

能谱仪(EDS, Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜来使用。各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

3． 主要技术指标

分辨率：0.8nm；沉浸模式、射束加速、透镜内 TLD-SE 和 TLD-BSE、DBS，以实现最佳信息和图像优化选择；射束着陆能量、低至50 V；

4． 样品要求（如有）

无磁性，易导电，自行喷金

5． 安放地点：软件园校区教研楼超净间

6． 联系人：王一鸣， 邮箱：nano@sdu.edu.cn