答辩人：王迪

所属专业：微电子学与固体电子学

研究方向：宽禁带半导体材料与器件

论文题目：本征及钽掺杂beta-氧化镓外延薄膜的制备与性质研究

答辩人导师：马瑾 教授

答辩时间：2022年5月29日8:00

答辩地点：山东大学软件园校区教研楼227会议室