1． 仪器名称：UV ozone

型号和规格：ProCleaner    

生产厂商：BioForce Nanoscience

2． 仪器主要用途

清除来自SPTs、AFM尖端和表面的分子污染

固化UV胶

SAM表面的UV光蚀刻

氧化PDMS

表面消毒

3． 主要技术指标

紫外光发生臭氧

4． 样品要求（如有）

视具体情况

5． 安放地点：软件园校区教研楼超净间

6． 联系人：王一鸣，邮箱：nano@sdu.edu.cn