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7.氧等离子体清洗机

发布日期:2019-06-10 作者: 点击:



1. 仪器名称:氧等离子体清洗机

型号和规格:PDC-32G

生产厂商:Harrick Plasma

2. 仪器主要用途

用干法等离子体技术去除有机光刻胶(灰化),集成预处理步骤去除自然氧化层,气体与等离子体能量化学反应,达到去污目的。

3. 主要技术指标

RF Power: Low: 6.8WMedium: 10.5WHigh: 18W,使用氧气、氮气

4. 样品要求(如有)

视具体情况

5. 安放地点:软件园校区教研楼超净间

6. 联系人:王一鸣,邮箱:nano@sdu.edu.cn


             



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