1. 仪器名称:氧等离子体清洗机
型号和规格:PDC-32G
生产厂商:Harrick Plasma
2. 仪器主要用途
用干法等离子体技术去除有机光刻胶(灰化),集成预处理步骤去除自然氧化层,气体与等离子体能量化学反应,达到去污目的。
3. 主要技术指标
RF Power: Low: 6.8W,Medium: 10.5W,High: 18W,使用氧气、氮气
4. 样品要求(如有)
视具体情况
5. 安放地点:软件园校区教研楼超净间
6. 联系人:王一鸣,邮箱:nano@sdu.edu.cn
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