专利成果

2018年专利

发布日期:2019-06-18 作者: 点击:

[1]一种高性能多元非晶金属氧化物薄膜晶体管的制备工艺”,授权专利号:201811250452.X,发明专利,发明人:冯先进,徐伟东。

[2]一种光电性能优异的多元非晶金属氧化物半导体薄膜的制备方法”,授权专利号:201811248168.9,发明专利,发明人:冯先进,徐伟东。

[3]一种低电阻率n型氧化亚铜薄膜的真空制备工艺”,授权专利号:201810466705.0,发明专利,发明人:冯先进,许萌,刘晓辉。

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