研究领域

宽带隙半导体材料与器件

发布日期:2019-06-18 作者: 点击:


宽带隙氧化物单晶薄膜的制备与性质:

在多种单晶衬底上成功地异质外延出TiO2(锐钛矿、板钛矿和金红石结构)、SnO2(金红石和铌铁矿结构)、β-Ga2O3In2O3γ-Al2O3等单晶薄膜,研究了薄膜的晶格结构和生长机制,确定了薄膜与衬底的外延关系。在多种单晶衬底上成功地异质外延出TiO2:Nb(Ta)SnO2: Ta (Nb)β-Ga2O3:Sn等不同元素掺杂的单晶薄膜,实现了对薄膜电学性能的有效调控,并研究了相关的掺杂机理和输运机制。研究了制备单晶薄膜的光学性质和光致发光特性,并分析发光机理。基于a-TiO2薄膜制备出了性能良好的MSM型紫外光电探测器和薄膜晶体管。

图(a)在GaN衬底上外延生长的锐钛矿TiO2单晶薄膜;

(b) MgAl2O4衬底上外延生长的β-Ga2O3单晶薄膜,插图为界面选区电子衍射花样。

 

GaN基发光二极管(LED

高亮度InGaN基蓝光LED已经被广泛地应用于照明和显示等领域。然而,由于In的易挥发性以及InNGaN之间的低互溶度等原因,高效InGaN基绿、红光LED的制备一直是该领域丞待解决的难题。本研究室拟在传统InGaN基蓝光LED结构的基础上,通过能带工程/应力调控,即通过导入准超晶格InGaN/GaN下置层作为有源区应力释放层、AlGaN插入层作为阱/垒界面的应力补偿层、低温p-GaN缓冲层作为空穴注入层(兼具调整能带图形)等结构来制备InGaN基绿、红光LED。通过多种光谱测量(光致发光、电致发光、时间分辨等)和结构质量表征(AFMXRDRamanTEM等),来调查结构参数和生长工艺对缺陷密度、应力、辐射波长(In并入率)和发光效率等的影响规律,从而阐明载流子的注入(产生)、传输、复合发光过程的内部物理机制,并最终探索出制备高效InGaN基红光LED的最佳结构参数和生长工艺。本研究室已发表Appl. Phys. Lett.J. Appl. Phys.Opt. ExpressSci. Rep.Appl. Surf. Sci. 等多篇期刊论文。

GaN基光学器件研究

GaN 是第三代半导体材料的杰出代表,其在发光二极管、激光器、探测器等领域应用市场巨大;要想实现这些器件的高效率,可在衬底与器件之间植入一层高反射率的分布布拉格反射镜(DBR)。目前,已经尝试过AlInN/GaNAlN/GaNAlGaN/GaN等多周期DBR结构。但由于两种材料间(例如:AlInNGaN)存在较小的折射差,因此上述材料所制备的DBR要达到95%的反射率所需要的周期数要高达20-40。 此外,两种材料之间还存在一定的晶格失配性,这会严重影响在其上所生长器件的高效率。最近,课题组采用电化学刻蚀技术成功地制备出GaN /纳米多孔GaN近紫外-可见光-近红外DBR反射镜,该DBR反射镜具有反射率高(>95%)、反射阻带宽(>80 nm)、面积大(>2 inch)、制备工艺简单等优点。若在其生长无机和有机发光材料,可制备出高效发光器件。例如,课题组采用MOCVD技术成功制备具有DBR结构的InGaN基发光二极管。与参比InGaN基发光二极管(LED)相比,所制备LED的发光效率被提高了3-4倍,荧光寿命被增加了4倍以上。在此方面,研究室已发表 Photonics ResearchScripta Materialia, Journal of Alloys and Compounds等多篇期刊论文。

具有分布布拉格反射镜的InGaN基发光二极管:a可反射山大LogoDBR镜; (b)具有DBR镜的LED的切面SEM图像;(cLEDPL谱;(dLED荧光寿命谱。

 

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